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スラリー自動希釈/供給装置
本装置は、CMP装置で使用されるスラリーを、自動的に希釈 / 供給するものです。
スラリー自動希釈/供給装置
  • コンパクト設計により省スペースを実現
  • 自動希釈、自動供給で完全に自動化
  • わずらわしいスラリーラインの純水洗浄を自動化
  • タッチスクリーン式コントローラで簡単な操作
  • 漏液センサー、ポンプ異常などの安全装備
  • 濃縮スラリーの希釈も可能
  • 2つのタンクにより、途切れることなくスラリーを供給
  • 55ガロンドラム供給ユニットや、5ガロンタンク供給ユニットとの組み合わせで原液供給も自動化
  • 本体のみで希釈 / 供給ができるのでデイタンクなどの別置きユニットが不要
  • タンク自動洗浄機能によりマイクロスクラッチが激減
■ 仕様
希釈 / 供給ユニット 5ガロンタンクユニット 55ガロンドラムユニット
外観寸法 1400(W)×600(D)×1800(H) 1100(W)×600(D)×1000(H) 1100(W)×1000(D)×1800(H)
重量 500kg 100kg 200kg
■ 用力
電源 1Φ AC 100V 5A
圧縮空気 5.0kgf/cm_ 1000リットル/min.
窒素 2.8kgf/cm_ 100リットル/min.
純水 2.0kgf/cm_ 15リットル/min.
排気 -10mmH2O 1.0m_/min.

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