製品案内 |
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本装置は、CMP装置で使用されるスラリーを、自動的に希釈 / 供給するものです。 |
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- コンパクト設計により省スペースを実現
- 自動希釈、自動供給で完全に自動化
- わずらわしいスラリーラインの純水洗浄を自動化
- タッチスクリーン式コントローラで簡単な操作
- 漏液センサー、ポンプ異常などの安全装備
- 濃縮スラリーの希釈も可能
- 2つのタンクにより、途切れることなくスラリーを供給
- 55ガロンドラム供給ユニットや、5ガロンタンク供給ユニットとの組み合わせで原液供給も自動化
- 本体のみで希釈 / 供給ができるのでデイタンクなどの別置きユニットが不要
- タンク自動洗浄機能によりマイクロスクラッチが激減
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■ 仕様 |
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希釈 / 供給ユニット |
5ガロンタンクユニット |
55ガロンドラムユニット |
外観寸法 |
1400(W)×600(D)×1800(H) |
1100(W)×600(D)×1000(H) |
1100(W)×1000(D)×1800(H) |
重量 |
500kg |
100kg |
200kg |
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■ 用力 |
電源 |
1Φ AC 100V 5A |
圧縮空気 |
5.0kgf/cm_ 1000リットル/min. |
窒素 |
2.8kgf/cm_ 100リットル/min. |
純水 |
2.0kgf/cm_ 15リットル/min. |
排気 |
-10mmH2O 1.0m_/min. |
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