| 製品案内 |
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| 本装置は、洗浄工程、レジストリッピング行程、ポリマー除去行程などで使用される有機溶剤を、窒素加圧によってユースポイントまで安全かつ自動的にダストフリーで供給するものです。 |
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- コンパクト設計により省スペースを実現
- 薬液の種類によって１〜４台のユニットで構成
- 各ユニットは１個または２個のカニスタータンクを収納
- エア抜きタンクの装備により、エアの混入が無く、またカニスタータンクの薬液を無駄なく使用可能
- スライド式レールでカニスタータンクの交換が簡単
- 処理装置の要求信号で自動的に供給、待機中の配管内の圧力は0kgf/cm2
- 最大Φ320mm、高さ600mmまでの各薬液メーカーのカニスタータンクに対応
- 漏液センサー、加圧異常等のインターロックを標準装備
- 接液部は全てフッ素樹脂でコンタミネーションフリー
- 0.2μmの薬液用フィルターを標準装備
- アルコールで最大30リットル/min.供給可能（同一フロアーの場合）
- 特注にて最大200リットルカニスタータンクまで対応可能
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| ■ 仕様 |
| 外観寸法 |
400(W)×800(D)×1170(H)mm |
| 材質 |
SUS304 ヘアーライン仕上げ |
| 接液部 |
PTFE/PFA |
| 薬液フィルター |
0.2μm |
| 窒素フィルター |
0.005μm |
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| ■ 用力 |
| 電源 |
100/115/200/220/240VAC 1Φ 5A |
| 窒素 |
5kgf/cm2 100リットル/min. |
| 排気 |
1400リットル/min.-10mmH2O |
| 供給口 |
3/8"スウェージロック |
| エアー抜きドレイン |
3/8"スウェージロック |
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