| 製品案内 |
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| 本装置は、半導体製造工程にて使用される純水を、ユースポイントでの使用量変動に影響されず、任意の設定圧力でクリーンに供給する装置です。
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- コンパクト設計により省スペースを実現
- 純水の使用量によって小型（最大20リットル/min.）中型（最大30リットル/min.） 大型（最大50リットル/min.）の３種類
- 特注にて200リットル/min.まで対応可能
- 漏液センサー、空運転防止、圧力センサー等インターロック機能も万全
- 漏液センサーに連動したシャットオフバルブも標準装備
- 高精度圧力センサーとインバーターにより0.1kgf/cm2単位で圧力設定が可能
- ユースポイントでの使用量変動に対して素早く応答
- 昇圧能力 ΔP=3.0kgf/cm2
- 高性能過流ポンプを使用
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| ■ 仕様 |
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LBPS-2000 |
LBPS-3000 |
LBPS-5000 |
| 外観寸法 |
500(W)×300(D)×865(H)/mm |
1000(W)×500(D)×820(H)/mm |
| 材質 |
SUS304 ヘアーライン仕上げ |
| 接液部 |
SUS316/PFA |
| 純水フィルター |
0.2μm/0.1μm |
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| ■ 用力 |
| 電源 |
AC 200V 3Φ 5A |
AC 200V 3Φ 10A |
AC 200V 3Φ 15A |
| 圧縮空気 |
5.0kgf/cｍ2 |
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