| 製品案内 |
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| 本装置は、洗浄工程、レジストリッピング行程、ポリマー除去行程などで使用された有機溶剤等の廃液を、安全でクリーンに回収する装置です。 |
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- コンパクト設計により省スペースを実現
- 廃液の種類によって１〜４台のユニットで構成
- 各ユニットは１個または２個の廃液タンクを収納
- 処理装置からの信号で自動的に回収
- どのような回収タンクにも対応（標準で20リットルポリタンク２個）
- スライド式トレーで回収タンクの交換が簡単
- 漏液センサー、廃液レベルセンサー等のインターロックを標準装備
- 接液部はＳＵＳ３１６、ＰＦＡでコンタミネーションフリー
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| ■ 仕様 |
| 外観寸法(1ユニット) |
650(W)×600(D)×1120(H)mm |
| 材質 |
SUS304 ヘアーライン仕上げ |
| 接液部 |
SUS316/PFA |
| 回収口 |
3/4"スウェージロック |
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| ■ 用力 |
| 電源 |
100/115/200/220/240VAC 1Φ 5A |
| 圧縮空気 |
6kgf/cm2 50リットル/min. |
| 排気 |
1400リットル/min.-10mmH2O |
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