| 製品案内 |
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本装置は、ウェハー洗浄行程で使用される薬品を、設定された濃度で自動的に希釈し、ユースポイントまで安全かつ自動的に供給する装置です。
本装置によって、薬液コストを大幅に下げることが出来ます。 |
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- コンパクト設計により省スペースを実現
- 定量ポンプの使用で高精度の希釈率を実現
- 自動希釈、自動供給で完全に自動化
- タッチスクリーン式コントローラで簡単な操作
- 薬液接液部は、すべてフッ素樹脂でコンタミネーションフリー
- 漏液センサーをはじめとして、様々な安全対策
- 希釈率の変更も簡単な操作
- 最大使用量2000ml/min.まで供給可能
- 希釈する薬品にあわせて１液用、２液用の二種類のキャビネット
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| ■ 仕様 |
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LCMS-2000（2液用） |
LCMS-1000（1液用） |
| 外観寸法 |
1300(W)×500(D)×1850(H)/mm |
700(W)×500(D)×1850(H)/mm |
| 重量 |
450kg |
250kg |
| キャビネット材質 |
PVC アイボリー |
| 希釈方式 |
定量ポンプ |
| 接液部 |
フッ素樹脂 |
| 薬液フィルター |
PFA製 0.1μm |
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| ■ 用力 |
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LCMS-2000（2液） |
LCMS-1000（2液） |
| 電源 |
1Φ AC100V 15A |
| 窒素 |
5kgf/cm_ 100リットル/min. |
| 圧縮空気 |
6kgf/cm_ 50リットル/min. |
| 純水 |
1kgf/cm2_ 20リットル/min. |
1kgf/cm2_ 10リットル/min. |
| 排水 |
20リットル/min. |
| 排気 |
1.4m3_/min.×2 |
1.4m3_/min. |
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